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DH-500ZZS型箱式電子束蒸發鍍膜機DH500ZZS使用說明書
DH-500ZZS型箱式電子束蒸發鍍膜機DH500ZZS使用說明書

產品型號: DH-500ZZS

所屬分類:頻譜分析儀

產品時間:2016-08-25

簡要描述:DH-500ZZS型箱式電子束蒸發鍍膜機DH500ZZS使用說明書該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發鍍膜設備,該鍍膜機功能強、鍍膜質量穩定、重復性好、操作簡便。適用于制備導電薄膜,半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。

詳情介紹

DH-500ZZS型箱式電子束蒸發鍍膜機DH500ZZS使用說明書

該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發鍍膜設備,該鍍膜機功能強、鍍膜質量穩定、重復性好、操作簡便。適用于制備導電薄膜,半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜,高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。

  鍍膜機的真空室材料均采用優良材質SUS304 不銹鋼材料制造,工藝規范、精致,具有高真空度、高清潔度,可以保證材料的成膜純度。

  采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯機械泵機組,具有抽速快、無油、操作方便快捷、易于維護的特點。配備270°E型電子束蒸發源,電源穩定,控制精度高,帶有高壓自動滅弧復位裝置,操做簡便,性能可靠。

  適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師科學研究。

   鍍膜室體積:500mmX500mmX600mm;

   極限真空度:6.7X10-5 Pa,恢復真空:從大氣抽至6.7X0-4 Pa (40分鐘);

   真空抽氣系統:機械泵與分子泵組成;

   真空測量系統:數顯復合真空計;

   蒸發源:電子束蒸發源:E型電子槍,功率0~6KW可調;電阻蒸發源:功率3kW/10V兩組;

   工件烘烤溫度:室溫~350℃可控可調(PID控溫);

   選配件:光學膜厚測量儀、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等;

   供電電源:三相AC380V,50Hz。

   特殊規格可定制。

DH-500ZZS型箱式電子束蒸發鍍膜機DH500ZZS使用說明書

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